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              3靶等離子濺射儀操作使用步驟

              發布時間:2017-11-08

              閱讀:1302

                3靶等離子濺射儀的使用分3個步驟,即裝樣品、抽真空、濺射,待廠家為您一一講解:

              3靶等離子濺射儀


                一、裝樣品
                1、充氣:打開充氣旋鈕,使得空氣進入鐘罩。
                2、開電源總開關,接通電源。
                3、升鐘罩:將“升”開關撥到下方,待鐘罩升到合適位置時,按住“停”按鈕,鐘罩停止上升,將“升”開關撥回到上方。
                4、放樣品:將放有樣品的載物臺固定到鐘罩中。
                5、降鐘罩:按一下“降”按鈕,鐘罩開始往下降,降到適當的位置使得鐘罩密封時自動停止。(注意,在鐘罩將要降到底時可以在前邊稍往上抬鐘罩,以保證鐘罩的密封效果,利于后面的真空抽取。)
                6、將充氣旋鈕旋緊。
                二、抽真空
                1、抽低真空:樣品裝好后,再一次確認充氣旋鈕已旋緊。然后將電源開關旋鈕打到機械泵,打開低真空計。
                2、(逆時針)旋轉管道閥門Ⅰ,在旋轉到zui滿時回旋1-2圈;過一會后(一般這時候真空機壓強在10Pa左右),逆時針旋轉打開管道閥門Ⅱ。
                3、上面步驟完成后,機械泵抽一段時間后,當真空計讀數在6-5Pa左右時,可打開擴散泵。
                4、通冷卻水,再將電源開關旋到擴散泵。
                5、約半小時后,關閉管道閥門Ⅰ,(逆時針、打開打開擴散泵旋鈕(至滿回旋1-2圈、。這時候低真空計壓強將會突然變大,待壓強再一次回到
                10Pa后,打開高真空計(方法看下一步、。
                6、抽高真空:按下高真空計電源開關,再按下燈絲按鈕;將壓強檔打到10-1檔,抽真空到壓強小于1×10-1Pa時,可打到10-2檔,依次類推,知道滿足自己的需要(一般zui大能達到×10-3檔、。
                三、濺射
                1、先講濺射裝置打開,有加速電壓、中和電壓、陰極電流和陽極電壓。(注意還有外接的毫安表,這是用來測試流過靶材的電流。、
                2、先將真空計回旋一檔(×10-2、,通A氣,當達到滿足的要求時位置(通氣時要慢慢的旋轉通氣旋鈕,防止通氣忽大忽小不易控制。、
                3、調加速電壓(如200V),屏級電壓(如1000V),陰極電流(如12A)和陽極電壓(如55V)進行濺射。(調劑經驗:在加速電壓調好后,先調節屏級電壓到要求值,然后調節陰極電流和陽極電壓到比預定值稍小,zui后通過協調這三個旋鈕調出束流。一般調出束流后,屏級電壓調至合適就不要再跳,陰極電流對束流的影響較大,當束流合適后,也不易再跳,主要通過陽極電壓來控制束流為一定值。)
                4、濺射到要求時間后,將陰極電流、陽極電壓和屏級電壓旋到zui小,等到屏級電壓顯示值為零時,關閉他們對應的電源開關。
                5、將高真空計檔打到10-1檔,關高真空計燈絲和電源開關,關低真空計。
                6、旋緊擴散泵旋鈕,將電源開關由擴散泵打到機械泵,繼續通冷卻水。
                7、待大約半小時以后,擴散泵冷卻,關閉機械泵,關總電源開關,關冷卻水。
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