簡要描述:VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。
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VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜
技術參數
輸入電源
等離子源
磁控濺射頭
真空腔體
載樣臺
真空泵
可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統
薄膜測厚儀
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