<b id="rnnvn"><em id="rnnvn"></em></b><menuitem id="rnnvn"><noframes id="rnnvn"><menuitem id="rnnvn"></menuitem>
    <font id="rnnvn"><noframes id="rnnvn"><menuitem id="rnnvn"></menuitem>
    <ins id="rnnvn"><em id="rnnvn"></em></ins>

    <font id="rnnvn"><video id="rnnvn"><meter id="rnnvn"></meter></video></font>

      <font id="rnnvn"></font>

        <del id="rnnvn"><track id="rnnvn"></track></del>
        <menuitem id="rnnvn"><em id="rnnvn"><meter id="rnnvn"></meter></em></menuitem>

        <menuitem id="rnnvn"><em id="rnnvn"><meter id="rnnvn"></meter></em></menuitem>

        <menuitem id="rnnvn"></menuitem>
        客戶咨詢熱線:
        18255163376
        首頁 > 產品中心 > 薄膜制備全套設備 > 磁控濺射鍍膜設備 > 500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀--VTC-2DC

        500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀--VTC-2DC

        簡要描述:VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:生產廠家
        • 更新時間:2021-11-15
        • 訪  問  量:957
        詳細介紹

        VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統,系統中包含了所有所需的配件,如500W600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。
        用直流磁控濺射儀可獲得單相Al

         技術參數

        輸入電源

        • 220VAC 50/60Hz, 單相
        • 1000W  (包括真空泵)

        等離子源

        • 一個500W,600V的直流電源安裝在移動柜內(點擊圖片查看詳細資料)

        磁控濺射頭

        • 一個2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
        • 靶材尺寸直徑為50mm,zui大厚度1.5mm
        • 一個快速擋板安裝在法蘭上(手動操作,見圖左3
        • 濺射頭所需冷卻水:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環水冷機)
        • 同時可選配1英寸濺射頭
             

        真空腔體

        • 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H,采用高純石英制作
        • 密封法蘭:直徑為165 mm .  采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
        • 一個不銹鋼網罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體
        • 真空度:10-3 Torr (采用雙極旋片真空泵), 10-5 torr (采渦旋分子泵)

        載樣臺

        • 載樣臺可旋轉(為了制膜更加均勻)并可加熱
        • 載樣臺尺寸:直徑50mm (zui大可放置2英寸的基片)
        • 旋轉速度:1 - 20 rpm
        • 樣品的zui高加熱溫度為700℃,(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500
        • 控溫精度+/- 10℃

        真空泵

        可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統
              

        薄膜測厚儀

        • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?  
        • LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關數據
           

        外形尺寸

             

        重量70Kg

        質保和質量認證

        • 一年質保期,終生維護
        • CE認證

        使用注意事項

        • 為了得到較好的金屬膜,特別是針對易氧化的金屬,如Al, MgLi等,必須通入高純惰性氣體(> 5N
        • 強烈建議采用PPM極的氣體凈化系統(將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統過后,再導入到真空腔體內)
        • 我們也可在設備中安裝射頻(RF)電源,用于濺射非導電靶材,來制備非金屬薄膜
            
        產品咨詢

        留言框

        • 產品:

        • 您的單位:

        • 您的姓名:

        • 聯系電話:

        • 常用郵箱:

        • 省份:

        • 詳細地址:

        • 補充說明:

        • 驗證碼:

          請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
        亚洲—本道中文字幕久久66_亚洲本色国产精品_亚洲变态另类一区二区三区_亚洲不卡黄色网站_亚洲不卡久久免费av