<menuitem id="rfhzf"><em id="rfhzf"><thead id="rfhzf"></thead></em></menuitem>

<menuitem id="rfhzf"></menuitem>

              客戶咨詢熱線:
              18255163376
              首頁 > 產品中心 > > 等離子清洗機系列 > 等離子清洗機- PCE-80

              等離子清洗機- PCE-80

              簡要描述:PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續可調節。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:931
              詳細介紹



              技術參數

              輸入電源

              • AC 220V , 50/60 Hz, 
              • zui大射頻功率: 100 W 
              • 真空泵功率: < 500W
              • 總功率: < 600W

              射頻功率

              • 射頻功率可在 0 - 100W之間調節
              • 射頻:   13,56 MHz
              • 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗

              等離子腔體

              • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
              • 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
              • 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

              控制面板

              • 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.
              • 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量

              真空泵

              • 儀器中包括一臺240L/min直聯式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。
              • 極限真空度為50mTorr



              •  
              •  

              通入氣體

              等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定)

              可選

              • 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
              • 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統

              外型尺寸

              620 L ×450 W ×600 H, mm

              質保期

              一年質保期,終生維護

              產品咨詢

              留言框

              • 產品:

              • 您的單位:

              • 您的姓名:

              • 聯系電話:

              • 常用郵箱:

              • 省份:

              • 詳細地址:

              • 補充說明:

              • 驗證碼:

                請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
              91POPNY丨国产熟女,91POPNY丨嫖妓,91popny丨熟女蝌蚪,91popn国产熟女,91XXXXX在线观看