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              2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

              簡要描述:HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:732
              詳細介紹

                  HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DCRF電源配合使用。


              技術參數

              特征

              (點擊圖片查看詳細資料)

               

              • 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作
              • 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體,以得到較高的磁場強度和均強場分布
              • 磁體表面涂有一層保護層,以防止冷卻水的腐蝕,延長其使用壽命
              • 標準的HN型接頭,可與DCRF電源相匹配
              • 安裝是采用標準真空接頭,便于操作
              • 更換靶材較為簡單,無需調整濺射頭的高度

              所需功率

              • DC(zui大)1000W
              • RF(zui大)500W

              zui大濺射電流

              3A

              濺射電壓

              100-1000 V

              濺射時腔體真空度

              5-100 mTorr

              濺射均勻性曲線圖

              尺寸

              • 陽極護套直徑:3.5英寸
              • 總長度:14英寸

              靶材

              • 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
              • 厚度對于非磁性靶材,zui大厚度為1/4英寸
                         
                對于磁性靶材,zui大厚度為1/16英寸
              • 靶材利用率:30%
              • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

              需要冷卻水

              • 流速:   0.8 GPM
              • 進水溫度:<20 ℃
              • 水管:0.25" OD.

              可選配件

              • 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時,本公司會贈送一高真空快速接頭
              • 此快速接頭的內徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸
                 
              • 循環水冷機,流量為16L / min ,水箱容積為6L

              質保

              一年質保期,終生維護

               

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