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              小型PECVD管式爐系統--OTF-1200X-50-PE-S

              簡要描述:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD 系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統極為理想。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:4975
              詳細介紹

                 OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD  系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統極為理想。

              特征

              • 與普通CVD相比可以在低溫環境下進行氣相沉積實驗
              • 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制
              • 通過工藝調節來控制化學計量
              • 能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) .

              技術參數

              開啟式管式爐

              • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
              • zui高工作溫度1200℃(小于1小時)
              • 連續使用溫度1100
              • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
              • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
              • 可設置30段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護
              • 加熱區長度為200mm,恒溫區長度為60mm(+/-1°C)

                  
                             
                (點擊圖片查看詳細資料)

              等離子體射頻電源

              • 輸出功率: 5 -500W可調
              • 穩定性為+/-1%
              • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩定性±0.005% 
              • zui大反向功率: 200W max
              • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
              • 噪聲<50 dB.
              • 冷卻方式:空氣冷卻
              • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
                 

              真空法蘭和接頭

              • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
              • 左端法蘭上安裝有防腐型數字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
              • 右端法蘭設計為KF25接口,上面配有泄氣閥,擋板閥和兩個KF25卡箍
              • 儀器中所配的數字真空計,可以不用因使用氣體的不同而進行校正,同時還具有防腐功能(請點擊圖片查看詳細介紹)

                  

              真空泵

              • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
              • 2L/s
              • 與本公司管式爐配套使用,可使其真空度達到10-2 torr
              • 進氣端帶有儲氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環境和人體健康)
                 

              產品尺寸和重量

              外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

              凈重: 160 lbs

              可選配置

              請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統

              • 防腐型小型三路浮子混氣系統
              • 精密氣液混合系統
              • 三路質子混氣系統

              質保期

              一年質保期,終生維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

              質量認證

              CE Certified

              產品咨詢

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