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              雙溫區開啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F

              簡要描述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:3041
              詳細介紹

                OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.

                技術參數

              殼體結構

              • 雙層殼體結構,并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于 55oC
              • 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽

              功率

               2.5 KW

              電壓

               AC 208-240V單相, 50/60 Hz

              加熱元件

               Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

               zui高工作溫度

               1200 ℃

               連續工作溫度

               1100 ℃

              zui大升溫速率

               <= 20  ℃ /min

              爐管尺寸和材質

               石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

              加熱區長度

              • 兩個加熱區:  每個溫區200 mm (8")  
              • 總加熱區長度400 mm 

              恒溫區長度

                150mm  (+/-1oC)

              溫度控制器

               

               

               

               

              • 兩個精密的溫度控制器,單獨的控制兩個溫區
              • PID方式控制,通過PWM固體繼電器
              • 30 可編程智能溫度調節儀,可設置30段升降溫程序
              • 帶有過熱和斷偶保護
              • 控溫儀表操作視頻

              控溫精度

               +/- 1oC

              真空密封系統

               

               

               

               

               

               

               

               

              • 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經安裝真空計,閥門
              • 真空度:通過機械泵真空度可以達到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想獲得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以達到10-5 torr.
              • 泄漏率< 5 m-torr/min.    
              • (法蘭安裝示意圖)

              真空泵

               

               采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

              數字式真空表

              • 美國進口CVM-211數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上,測量范圍為10-4Torr~1000Torr (采用皮拉尼式的方法)
              • 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

              混氣系統

               

               

               

               

               

              • 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 
              • *路氣體流量范圍為10-100 cc/min.  
              • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.  
              • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
              •  一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ,來監測混合氣體的壓力    

              閥門

              四個不銹鋼閥門安裝移動架的側面板上分別在三個氣體的入口處

              尺寸

               爐子: 550 x 380 x 520 

              移動架: 600x600x597

               凈重

              60KG 

              運輸重量

              600 lbs 

              運輸包裝尺寸

               Two cases in one pallet:  45x45x35/case

              質保期

              一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件

              質量認證

               

              CE Certificate

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