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              小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

              簡要描述:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:813
              詳細介紹

              OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器zui高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,zui大升溫速率為100/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。
               

              技術參數

              爐體結構

              • 兩個爐體在一個滑動軌道上,爐體zui高工作溫度1200℃
              • 每個爐體加熱區為200mm,恒溫區為60mm
              • 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部,可手動推動爐體滑動
              • 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

              總功率

              2.5KW

              電壓

              AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關)

              zui高工作溫度

              1200℃

              連續工作溫度

              1100℃

              加熱&冷卻速率

                加熱速率:

               15°C/sec (RT - 150°C);

               10°C/sec (150°C - 250°C);

                7°C/sec (250°C - 350°C);

                4°C/sec (350°C - 500°C);

                3°C/sec (350°C - 550°C);

                2°C/sec (550°C - 650°C);
                1°C/sec (650°C - 800°C);
                0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

              冷卻速率:

              15°C/sec (1000 - 950°C);

              10°C/sec (950°C - 900°C);

              7°C/sec (900°C - 850°C);

              4°C/sec (850°C - 750°C);

              2°C/sec (750°C - 600°C);
              1.5°C/sec (600°C - 500°C);
              1°C/sec (500°C - 400°C);
              0.5°C/sec (400°C - 300°C);

              注意

              zui大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現的,將爐體加熱到目標溫度,然后滑動爐體到樣品位置來實現快速加熱。對樣品加熱后,滑動爐體,使樣品暴露在加熱區外,來實現快速冷卻

               

              加熱區長度

              每個爐體的加熱區為200mm

              恒溫區

              60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

              加熱元件

              摻鉬鐵鉻鋁合金

              爐管

              • 高純石英管
              • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

              溫度控制系統

              • 兩個爐體都采用PID方式來調節溫度,可設置30段升降溫程序。
              • 控溫儀表操作視頻
              • 設置有超溫和斷熱偶報警
              • 包括2個K型熱電偶(已安裝在爐體上)
              • 可選:可選擇控制模塊MTS-02,可使用電腦來控制爐體的升降溫
                 (點擊圖片查看詳細資料)

              真空法蘭

              • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭,法蘭上安裝有機械壓力表
              • 可選購KF25接口的法蘭(提高抽氣速率),數顯真空計
                 

              滑軌長度

              1200mm

              真空度

              • 10E-5 torr(采用分子泵)
              • 10E-2 torr(采用機械泵)
              • 可在本公司選購真空泵
                 

              可選

              • 可選擇電動滑軌,更好的控制快速升降溫速率
              • 1-9通道質量流量計(MFC)控制的供氣系統
              • 100W-500W的射頻等離子源
              • 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統
                  

              尺寸

              1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌)

              凈重

              約80kg

              質保期

              一年質保期,終身維護(不包括爐管、密封圈和加熱元件)

              質量認證

              • CE認證
              • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL/MET/CSA認證
              • 本公司保證此設備通過TUV(UL61010)或CSA認證(需額外出認證費用)
                    

              使用注意事項

              • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
              • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
              • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
              • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
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