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              2單靶直流磁控濺射儀--VTC-16-SM

              簡要描述:VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品臺,外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:1016
              詳細介紹

              VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品臺,外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

              用直流磁控濺射儀可獲得單相Al

              技術參數

              輸入電壓

              AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz

              輸入功率

              < 2000W 

              輸出功率

              • 電壓:1600VDC
              • zui大電流:150mA 

              腔體

              石英腔體:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height


              濺射頭和樣品臺

              • 2英寸帶水冷磁控濺射頭
              • 一個直徑50mm不銹鋼樣品臺,樣品臺可旋轉,旋轉速率0 - 5 RPM 
              • 配有一手動操作的擋板,包含靶頭支撐架

              • 樣品臺和靶頭之間的距離可以調節,調節范圍:60-100mm

                     (點擊圖片查看詳細資料)

              控制面板

              6" PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度


              附件(可選)

              • 雙極旋片真空泵VRD-8,KF25接口

              • KF25不銹鋼波紋管

              • 10L/min 循環水冷機冷卻磁控靶頭  
                  

              氣氛

              含一個控制進氣的針閥和一個放氣閥


              靶材

              • 靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm
              • 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金屬,可選購

              可選配件

              • 膜厚監測儀
              • 分子泵,可獲得高真空, >10E-5 torr
              • 為獲得的薄膜強度,建議鍍膜前用等離子清洗機對基片進行清洗。
              • 500度樣品加熱臺         
                    

               

              體積

                  
                ( L 440mm×W 330mm × H 290mm 

              凈重

              20 kg ( not included pump )

              質保和證書

              • 一年質保,終生維護
              • CE認證

              磁控濺射鍍膜知識

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