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        OTF-1100X11Z3LV CVD

        簡要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion

        • 產品型號:
        • 廠商性質:生產廠家
        • 更新時間:2021-11-15
        • 訪  問  量:670
        詳細介紹

        我公司供應的產品符合國家有關環保法律法規的規定(含采購商ISO14000環境體系要求),不會造成環境污染;
             該產品符合采購商OHSMS18000職業安全健康管理體系標準的要求,不會對接觸產品的人員健康造成損害!
        主要特點: 采用電阻絲加熱;30段程序控溫;3個獨立溫區,可通氣氛抽真空

        設備的控制系統,具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高(專家PID控制)、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點。


         
        技術參數:
        功率: 8 Kw
        電源:AC220V  , 50/60 Hz  (使用時需配 50A空氣開關)

        加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

        zui高溫度: 1100 oC

        長期使用溫度: 1000 oC

        zui快升溫速率: ≤ 10  oC /min

        爐管尺寸及材質: 石英管;外徑279 x內徑269 x長度1524mm

        加熱區長度:三個溫區分別是300 mm + 300 mm + 300mm  

        溫區總長:  900 mm

        恒溫區長度: 500 mm ( 在恒溫區內溫度誤差 ± 1oC)

         

        溫度控制器:

        三塊30段高精度溫度控制器,可分別單獨控制每個溫區
        自動PID調節功能,可使溫度控制精度保持在± 1oC
        設有自動超溫及斷偶報警功能。
        請點擊此處下載  使用操作說明書    
        熱電偶類型: 3只K型熱電偶分別安裝于每個溫區

        真空密封法蘭:

        可直接連接PV軟管
        采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC
        配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護法蘭的目的
        真空系統:

        采用雙旋葉機械泵于分子泵相結合,zui高真空度可達 10-3.帕  
        1臺分子泵
        配有一只電阻規于電離規作為檢測元件 
        波紋管連接
        可選配數字真空計(美國進口)
         
         

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