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              多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐

              簡要描述:OTF-1200X-PLD是一款多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐,此款設備主要包括混氣裝置,加熱爐,基片加熱腔體、靶材濺射腔體和氣壓控制系統組成??膳c準分子激光器配合,進行脈沖激光蒸發鍍膜,而且靶材濺射腔體內可安裝3塊靶材,可依次對3中不同靶材進行激光脈沖蒸發。此款設備特別適合制作多元化合物薄膜。

              • 產品型號:OTF-1200X-PLD
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-11-15
              • 訪  問  量:958
              詳細介紹

               OTF-1200X-PLD是一款多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐,此款設備主要包括混氣裝置,加熱爐,基片加熱腔體、靶材濺射腔體和氣壓控制系統組成??膳c準分子激光器配合,進行脈沖激光蒸發鍍膜,而且靶材濺射腔體內可安裝3塊靶材,可依次對3中不同靶材進行激光脈沖蒸發。此款設備特別適合制作多元化合物薄膜。

               

              技術參數

              產品特點

              • 可與準分子激光器配合進行PLD制膜
              • 腔體內部可安裝多塊靶材,進行多靶激光蒸發
              • 腔體內部靶材可旋轉
              • 可對基片加熱(zui高溫度可達1200℃)

              加熱爐(對基片加熱)

              • 雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使殼體表面溫度小于60℃
              • 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層)
              • zui高工作溫度:1200℃
              • zui大功率:1.2KW

              腔體

              • 基片加熱腔體為高純石英材料
              • 靶材蒸發腔體為不銹鋼材料
              • 靶材蒸發腔體內可安裝3塊靶材,并且靶材可旋轉(轉速:0-30rmp)
              • 兩個腔體通過卡箍式法蘭連接(可點擊圖片查看詳細資料)
              •  

              真空度

              • 10-2Torr(采用機械泵)
              • 10-5Torr(采用渦旋分子泵)
              • 可在本公司購買各種真空泵

              窗口

               

              • 采用藍寶石(Al2O3)
              • 尺寸:Φ25*0.5mm
              • 允許激光的入射角度為30°-90°
              •   
              壓力控制系統
              • 一套壓力控制系統安裝在儀器的腔體上,可保證腔體內部的氣壓恒定
              • 與混氣系統配合使用,可保證蒸發腔體中各種氣體的分壓恒定
              •   

              混氣系統

              • 配有2路質量流量計混合系統
              • 混氣罐尺寸:Φ80X120mm
              • zui大氣壓:3×106Pa
              • 精度:±1%FS
              • 質量流量計量程:1:1-199sccm
                               2:1-499sccm
              • 可按客戶要求訂制其他量程的質量流量計
              • 可選購3-5路混氣系統

              等離子射頻電源(可選購)

              • 可在設備上安裝300W等離子射頻電源,使腔體內的氣體等離子化,達到等離子化激光蒸發反應鍍膜
              •  

              質保期

              一年質保期,終生維護(不包括密封圈、石英腔體和加熱元件)

              儀器尺寸

              1300mm*1260mm*820mm

              質量認證

              • CE質量認證
              • 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認證
              • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
                     
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